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第60章 这只是一道物理题，落不了地（第4页）

“这题的核心难点，在于要求1ms内完成补偿，且不能有接触式测温元件。”

李东有条不紊的分析道。

“所以唯一的路，就是做前馈控制。”

“这就要求必须建立一个极度精准的映射模型，把1200mms扫描速度下的激光能量沉积、流体散热和瞬态温度场强行耦合起来。”

李东看着林伟的眼睛，抛出了最致命的一击。

“要实现这一点，必须在毫秒级的时间内，实时求解高雷诺数下的纳维-斯托克斯方程（N-S方程）与瞬态热传导的强耦合。但浸没液在高速扫描下是处于剧烈湍流状态的，甚至会因为激光加热产生微米级的气穴扰动。”

“目前的计算流体力学，根本无法在光刻机的控制系统内，用不到1ms的算力去实时预判这种混沌的湍流边界层！一旦预测出现微小的偏差，波长补偿就会出错，良品率直接清零。”

李东总结道。

“所以，这只是个漂亮的物理模型，工程上算力根本达不到，是个死局。”

林伟点了一支烟，深深的吸了一口。

他太清楚湍流和算力的瓶颈了。

刚才他只看到了光学理论的绝妙，居然被喜悦冲昏了头脑，忽略了流体力学在实时控制上的算力灾难！

就在这时。

“砰砰砰！”

办公室的门被敲响，张默满头大汗的推门而入。

他一抬头，看见有客人在，顿时有些为难的站在门口。“林总，那个模拟……”

林伟深吸了一口气，看着张默。

“是不是N-S方程的流热耦合在高速边界下发散了？毫秒级的前馈预测算力根本达不到？”

张默震惊的看着林伟。

他才刚从超算中心跑过来，连报告都没来得及打，林总监怎么知道的！

“是……是的，林总！”

张默补充道，“我们刚才引入了湍流扰动因子，发现只要扫描速度超过800mms，预测模型就会产生混沌偏移，误差直接放大了十几倍，根本没法做实时前馈补偿……”

林伟无力的摆了摆手。

“知道了，你先出去吧。”

办公室里再次陷入了安静。

林伟深深的看了一眼李东。