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第33章 江城七中，李东（第2页）
就在他打个哈欠，想着晚上吃火锅是点微辣还是中辣的时候，一张试卷让他微微一愣。
【方案名称：双光束激光干涉无掩模光刻】
他揉了揉眼睛，再确认了一次，确实没有眼花。
就是双光束激光干涉无掩模光刻。
刚才还昏昏沉沉的脑子，现在一下子就清醒了。
这个思路就是他们组半年前用来解决那个低成本微纳加工难题的核心思路！
他急忙往下看去。
“设两束波长为λ的相干光，对称入射至光刻胶表面……”
“利用空间几何约束，干涉条纹周期d=λ（2sinθ）……”
“亚波长分辨率验证……”
张默是越看越心惊，越看越精神。
这个学生的解法，虽然用的是高中物理的简谐波叠加公式，没有用到他们工程中那些复杂的傅里叶光学变换和矢量衍射理论。
但是！
逻辑上却挑不出一点毛病。
而且结尾的备注更是让他眼前一亮。
【注：此方案可以省去高精度掩模版制造的环节，而且不需要投影物镜组，虽然对光源相干性与相位稳定性要求较高，但在周期性微纳结构的小批量高精度制造中，成本优势巨大。】
“嘶。”
张默咽了咽口水，忍不住喝了一口桌上的咖啡。
“有灵性，这是真的懂行。”
这个学生准确的抓住了“无掩模”和“去透镜化”这两个降本增效的关键点。
张默在心里快速估算了一下。
如果按照这个学生简化的思路，去搭建一个用于特定制程的中试线。
省去了千万级的投影物镜，省去了百万级的掩模版套组。
“高相干稳频光源成本虽然会提升2倍左右，但整体BOM成本……至少能下降40%！”
他自己都有些惊疑不定了。
“真的假的？”
他快速抽出一张A4纸，飞快的验算起来。
ΔCost≈Cost_Laser_Stable-（Cost_Projection_Lens+Cost_Mask_Set）
