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第一千六百六十七章 光刻胶的国产突围(第7页)

陈守仁拿起第三组样片。

“我建议换底材。”

高桥摇头。

“现有晶圆不能换,KM155的基底尺寸已经定了。”

方志远盯着曲线。

“那就换封装温度,先让芯片避开最高温段。”

伊万拿起一块废片。

“避开高温,材料永远过不了高温测试。”

李山河看向他。

“你有办法?”

“把底材表面做一层过渡膜。”

高桥立即问。

“用什么?”

“军用涂层里的硅氧烷。”

陈守仁皱眉。

“会影响线路刻蚀。”

“先薄涂,再做等离子清洗。”

方志远接话。

“程序增加预热停留,给过渡膜释放时间。”

高桥拿起笔。

“我去改电源曲线。”

陈守仁抱起样片。

“我去重做底材。”

方志远转身打开控制柜。

“我改程序。”

李山河看向伊万。

“你呢?”

“我要一瓶酒。”

“干完活给你。”

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