“湿度?”
“百分之三十六。”
“继续。”
李山河站在观察窗外,没看炉子里的红光,只盯着记录员手里的纸。
第一轮升温完成,晶圆表面出现细小的气泡,陈守仁把纸张揉成一团。
“停炉。”
高桥伸手拦住他,“还没到终点,再看五分钟。”
“你看那层胶,已经开始跑了。”
“停下来也救不回。”
李山河开口,“继续。”
“李总?”
“把完整数据跑出来。”
炉内温度升到二百八十度,监控屏上的曲线开始抖动,方志远扑到控制台前,“二号传感器读数偏低,实际温度可能已经超过三百。”
高桥拔掉备用探头,“换三号。”
陈守仁抓起对讲机,“所有人离开炉门,电源切手动。”
滋!
炉膛里传出一声细响,观察窗上爬出大片白雾,机械臂停在半空,整盘晶圆表面泛起黑斑。
“断电。”
高桥按下按钮,电流声拖了几息才停。
陈守仁冲到炉门旁,手刚摸到扳手又收回来,“里面温度还没降。”
李山河看向他,“开门。”
“现在开,空气进去会把片子全毁。”
“不开,咱们连毁在哪儿都看不见。”
陈守仁咬着牙拧动扳手,炉门刚开出一条缝,白雾冲到走廊,带着刺鼻的溶剂味。
高桥用夹具取出晶圆盘,最上面的晶圆已经裂成数块,边缘卷曲,剩下的片子全贴在金属托盘上。
方志远盯着检测屏,“线路边缘烧穿,封装点全部失效。”
陈守仁把夹具放回桌面,嘴唇上的裂口又渗出血来。
李山河拿起一片废晶圆,“这批材料从哪儿来的?”