未来光子学实验室。
DUV深紫外光源系统,通电测试达标。
高精度物镜模组,装配完成,透光率测试达标。
两大核心部件齐活。
光刻机原型机,进入总装阶段。
钱院士和尤里·伊万诺夫,两人并排站着。
这两人,一个是国内光学泰斗,一个是前苏联科学狂人。
现在,他们是这台机器的联合总设计师。
图纸堆得像小山。
前苏联的暴力美学光学理论。
从美国弄来的准分子激光器。
德国朔特光学的百年镜片工艺。
加上国内老军工的精密机械底子。
四路人马的技术,全要捏合在一台机器里。
这活儿,难如登天。
总装车间,设在地下二层。
最高级别的超净间。
灰尘按颗粒算。
进去一趟,得换三套防护服,过两道风淋室。
林峰带头,德米特里跟在后面。
两人穿着白色的连体防静电服,只露出一双眼睛。
手里的工具,全是特制的无磁性合金。
“一号透镜,入位。”林峰报数。
德米特里操作机械臂,稳稳地往下放。
公差按纳米算。
手一抖,几百万的镜片就报废。
所有人屏住呼吸。
机械臂停住。
卡扣合拢。
严丝合缝。
地下二层忙得热火朝天。