尤里第一个冷静下来,他拿起一块石英玻璃片,放到光路出口。
一束肉眼不可见的深紫外光,穿过玻璃。
他拿起玻璃片,对着检测仪器看了一眼,眉头皱了起来。
“光斑弥散,能量不聚焦。”
钱院士也走了过来,看了一眼数据。
“没有物镜系统,这道光,就是一根烧火棍,没法用。”
一句话,让刚刚还沸腾的实验室,温度降了下来。
光刻机,光刻机。
有“光”,只是第一步。
怎么用这束光,去“刻”,才是关键。
而负责“刻”的就是那套由十几块,甚至几十块镜片组成的比航天相机镜头还要精密的物镜系统。
“我联系了德国蔡司。”
钱院士的声音有些干涩。
“发了三封邮件,打了七次国际长行,对方的回复很明确。”
“不卖。”
一个年轻的研究员忍不住问,“为什么不卖?我们给钱啊。”
“因为我们是中国。”
钱院士说得很平静。
“蔡司的技术总监在电话里说,任何向中国出售高端光刻机核心部件的行为,都违反了‘瓦森纳协定’。”
“那是禁运。”
实验室里,死一样的安静。
刚刚攻克光源难题的喜悦,被这个更现实,更冰冷的壁垒,撞得粉碎。
“苏联呢?”孙建国问尤里,“你们在光学镜片上,没有积累?”
“有。”
尤里·伊万诺夫的回答很干脆。
“军用的我们不比他们差。望远镜,侦查卫星,我们都能做。”