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第57章 从零到一（第3页）

“现在所有人都和困在‘镜片色差’里的牛顿一模一样！都在死磕浸没液这个‘光的传播介质’。”

“试图把介质的温度波动和折射率波动降到零！”

【光影洞察】的效果在这一刻起到了作用。

李东眼里没有了试卷，只有一束深紫色的ArF准分子激光，它穿过物镜，射入超纯水中……

李东嘴角都要压不住了。

“我根本不需要去硬控介质折射率（n）！我只要去控制光源的真空波长（λ）！”

“既然浸没液的折射率整体变化了Δn，那我只要同步去微调光源的波长，给它一个同比例的补偿Δλ。”

“只要保证（n+Δn）（λ+Δλ）=nλ始终成立，也就是λ和n严格保持同比例变化。”

“那么代入相位公式，新的相位φ=2π?（n+Δn）L（λ+Δλ）=2π?nLλ=φ，永远保持不变！”

更关键的是，这个等式与光线的入射角度和光程长度完全无关。

无论光线以多大的入射角射入浸没液，无论它的光程是多少，只要n和λ同比例变化，所有光线的相位都会完全保持原值，物像之间的等光程性不会被破坏。

甚至连折射率变化带来的焦深变化，也会因为补偿量极小而被抹平。

数值孔径NA=n?sinθ，焦深DOF=λNA2。

虽然λ和n同比例微调时DOF物理上无法做到绝对恒定，但这区区几pm的波长调谐量，带来的焦深波动仅有纳米级的千分之一，在工程容差上完全可以忽略不计！

切入点，被他找到了！

李东立马准备将这个“光源波长实时同步调谐补偿方案”写在试卷上。

然而，当他动笔时却突然僵住了。

“等等……”

“要微调λ，激光器必须要接收到一个精准的控制指令，这个指令从哪来？”

题目要求响应速度≤1ms，且不能有任何与晶圆表面直接接触的部件。

这意味着，用接触式温度传感器实地测量水温的方案完全不可行，响应速度不达标呀。

“唯一的办法是……前馈控制！”

李东无短板的0。2属性开始发挥作用。

“必须提前建立一个精准的映射模型。”

“这套系统的所有核心工况参数现在都是已知的。”